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          全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850

          簡(jiǎn)要描述:全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850
          長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小
          高精準(zhǔn)度
          額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm
          高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)
          可配置的多氣體/多范圍功能

          • 產(chǎn)品型號(hào):SLA-5850
          • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
          • 更新時(shí)間:2025-11-14
          • 訪  問(wèn)  量:510
          詳情介紹

          全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850 

          全新 BROOKS 簡(jiǎn)化流量控制儀器 SLA5850 

          長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性:0.2%滿量程/年或更小

          高精準(zhǔn)度

          額定流量范圍廣 - 0.003 至 2500 slpm

          高壓額定值 - 高達(dá) 1500 psi/100 bar(可選:4500 psi/310 bar)

          可配置的多氣體/多范圍功能

          易于訪問(wèn)的獨(dú)立診斷/服務(wù)端口

          廣泛的通信選項(xiàng),包括 DeviceNet®、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485、模擬接口

          模塊化設(shè)計(jì),方便工廠或現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)

          傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性消除了維護(hù)或定期重新校準(zhǔn)的需要,從而降低了總擁有成本

          Brooks Instrument 專有的熱傳感器技術(shù)可提高信噪比并提高低設(shè)定點(diǎn)下的流量精度

          通過(guò)一個(gè)設(shè)備平臺(tái)兼容各種氣體范圍/流量范圍

          最多可以編程和保存 6 種校準(zhǔn)類型。通過(guò)一臺(tái)設(shè)備即可在不同氣體和范圍之間切換,從而減少庫(kù)存

          用戶可以輕松訪問(wèn)服務(wù)端口,并簡(jiǎn)化安裝、故障排除和診斷任務(wù),而無(wú)需中斷流量控制器操作

          耐用的金屬頂蓋可防止安裝過(guò)程中損壞

          多協(xié)議通信接口簡(jiǎn)化了與現(xiàn)有系統(tǒng)的集成

          通過(guò)基于全球標(biāo)準(zhǔn)的高性能測(cè)量和校準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)高精度

          化學(xué)和石化催化劑研究和中試工藝

          實(shí)驗(yàn)室和分析系統(tǒng)

          燃料電池技術(shù)

          生命科學(xué)生物反應(yīng)器

          流量范圍(滿量程容量)
          .003 - 2500 英里/分鐘
          準(zhǔn)確性

          17025 認(rèn)證設(shè)備(包括線性度,不包括校準(zhǔn)系統(tǒng)測(cè)量不確定度,根據(jù) SEMI E69)

          ±0.6% SP (20-100% FS)

          ±0.12% 滿量程 (<20% 滿量程)

          1100 slpm 至 2500 slpm:±0.6% FS


          標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備(包括參考標(biāo)準(zhǔn)的不確定性

          ±0.9% SP (20-100% FS)

          ±0.18% 滿量程 (2-20% 滿量程)

          1100 slpm 至 2500 slpm:滿量程的 ±1.0%

          再現(xiàn)性

          0.20% SP

          線性度

          包含在準(zhǔn)確度中

          響應(yīng)時(shí)間

          0.003 - 100 slpm:<1 秒

          100 - 2500 slpm:<3 秒

          多氣體多范圍

          標(biāo)準(zhǔn)

          最大壓力

          .003-200 slpm:1500 psi/103 巴

          100 - 2500 slpm:1000 psi/70 巴

          最大 50 slpm 設(shè)備上可選 4500 psi/310 bar

          控制范圍

          1-50 slpm:FS 調(diào)節(jié)比為 100:1

          50-2500 lpm:FS 調(diào)節(jié)比為 50:1

          零穩(wěn)定性

          每年 < 0.2%FS

          溫度系數(shù)

          零:每o C < FS 的 0.05%

          量程:每o C < SP 的 0.1%

          壓力系數(shù)

          0.03% 每 psi (0-200 psi N2 )

          態(tài)度敏感性

          重新調(diào)零后與規(guī)定精度的最大偏差<0.2% FS




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