直銷HORIBA堀場 質量流量計驅動電源

直銷HORIBA堀場 質量流量計驅動電源

直銷HORIBA堀場 質量流量計驅動電源

在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)

兼容環境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應

級別，

尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統。

用戶可更換的傳感器

校準過濾器可以在現場輕松更換，無需拆卸設備。

一臺安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發的，可實現 QL-SG02 的控制、數據采集、可視化和分析。

這是質量流量計專用的監控單元。

業務部門：半導體

產品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

規格

流量報警輸出功能 外部輸出：集電極開路

流量信號輸出：0~5VDC

流量顯示輸出功能

輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）

適用標準 安全標準：符合 CE 標志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環境兼容性：符合 RoHS 指令

兼容數字/模擬通信模型

標準型號PE-10/20系列

PE-10系列
●與模擬通訊設備兼容。
輸入電源：AC100~240V 50/60Hz
1臺驅動PE-11 (20VA MAX)
4臺驅動PE-14 (70VA MAX)
6臺驅動PE-16 (100VA MAX)

PE-20系列
●用于數字/模擬通信設備一致。
電源輸入：AC100~240V 50/60Hz
1臺驅動PE-21 (30VA MAX)
4臺驅動PE-24 (90VA MAX)
6臺驅動PE-26 (140VA MAX)

帶上下限流量報警型號PE-30A系列

●可為各驅動裝置設置流量上限和下限報警。使用內置音量控制進行警報設置。
●兼容數字/模擬通訊設備。
電源輸入：AC100~240V 50/60Hz
1臺驅動PE-31A (30VA MAX)
4臺驅動PE-34A (90VA MAX)
6臺驅動PE-36A (140VA MAX)

電流控制型號PE-30S系列

●電流控制：可進行4～20mA，并可利用模擬信號進行遠距離控制。
●可為各驅動裝置設置流量上限和下限報警。使用內置音量控制進行警報設置。
●兼容數字/模擬通訊設備。
電源輸入：AC100~240V 50/60Hz
1臺驅動PE-31S (30VA MAX)
4臺驅動PE-34S (90VA MAX)